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 采用直流方式提供電能的真空泵稱為直流無油真空泵。直流真空泵有5V，12V，24V供電的區分。5V，12V真空泵或24V的直流真空泵的體積都很小，所以稱為微型真空泵.直流供電的好處是免除電動機驅動從而降低用電功耗，電耗微弱至以mA(毫安)計，泵內系統集成化，采用弱電自動控制系統，能讓真空泵完全免除人工操控，達到更加精準智能的效果。

 微型直流真空泵主要是利用電機的圓周運動，通過機械裝置使泵內部的隔膜做往復式運動，從而對固定容積的泵腔內的空氣進行壓縮、拉伸形成真空(負壓)，在泵抽氣口處與外界大氣壓產生壓力差，在壓力差的作用下，將氣體壓(吸)入泵腔，再從排氣口排出。

 微型真空泵對氣密性等有很高的要求，一般在10^-7PaM^3/S(10的負7次方帕立方米每秒)均可滿足客戶對氣密性要求應用：如實驗室稀有氣體的分析、循環、檢驗等。微型真空泵采用無刷電機適應交變載荷，壽命有的可高達上千小時(滿負荷，24小時不間斷測試)，如間斷使用，壽命可長達至5000-8000小時左右。

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